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插入式電磁流量計

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插入式電磁流量計新物理氣相沉積應用的流量控制

來源:作者:發表(biao)時間:2019-08-29 14:35:42

你知道陽極氧化和發藍的一個問題嗎?雖然它可以防止腐蝕,但它可以刮掉。大多數陽極氧化不會強化表面。鍍鉻是另一種選擇,但鉻-6是有毒的,仍然可以磨損,凹坑和剝落。真空沉積系統制造商Duralar希望使用物理氣相沉積開發一種快速的類金剛石涂層工藝,這種工藝比任何一種都更硬,更耐用。它可用于防止金屬部件的腐蝕,腐蝕和磨損。
 
假設,像Duralar一樣,您是物理氣相沉積創新者。只是為了讓生活變得有趣,讓我們假裝你沒有無限的時間,而且金錢不會在樹上生長(!)。研發意味著測試,允許新的阻隔和反應氣體配方。您需要改變流量比和氣體 - 同時保持準確的流量,因此成功將是可重復的。您不能繼續為每次測試購買新的真空插入式電磁流量計,并且您無法承擔重新校準每個新配方的停機時間。你得到了照片。
 
Duralar開始使用通用真空沉積系統,但六個內置熱插入式電磁流量計中沒有一個針對其特殊氣體四甲基硅烷(TMS)(汽化液體)進行校準。事實是,這些插入式電磁流量計無法準確地更換氣體,無 xu重新校準的停機時間。所以Duralar打電話給Alicat。雖然TMS不在我們的標準清單上,但通過一些工程設計,我們為它們提供了耐腐蝕插入式電磁流量計,并為TMS定制了氣體校準。
 
他們使用Alicat插入式電磁流量計改造了他們的系統 - 它是一個替代品 - 他們現在可以確保他們的TMS流量的準確性將保持很高,無論是滿量程流量還是低于滿量程的0.5%。這是因為Alicat的氣體選擇不僅僅是單點的k因子偏移,而是基于NIST粘度表的完整性能曲線。展望未來,Duralar無 xu擔心因工廠溫度或壓力變化而導致的不準確性,因為插入式電磁流量計中的閉環傳感器可補償體積變化 - 與原始熱插入式電磁流量計不同。
 
不久,Duralar正在通過將腔室抽真空來生產涂層部件,在恰好適量的氣體中流動,添加材料蒸汽并將其轉化為與部件結合的等離子體。在物理氣相沉積中,需要真空,因為化學物質在大氣氣體存在下不起作用。
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插入式電磁流量計用于開發PVD過程
真空泵和三個插入式電磁流量計,用于原型設計。
 
接下來,他們想開發一種在管子和管道內沉積這種薄涂層的工藝。在管道內部涂層,可以減少磨損和腐蝕 - 非常適合在管道中流動研磨液,或保護步槍槍管內部免于生銹。該技術很巧妙:密封管的末端,管的內部成為真空室。需要的是,您需要能夠改變窄管內產生等離子體的放電位置,以獲得完整的涂層。因此,更多的原型設計,更多的實驗和Alicat再次拯救。
 
通過使用插入式電磁流量計用于腐蝕性TMS和另外兩個Alicat MC 插入式電磁流量計,他們能夠隨意更換氣體,從多達98種內置類型和20種用戶可定制的混合物中進行選擇 - 甚至更多的腐蝕- 插入式電磁流量計。
 
然后,他們使用我們可下載的LabVIEW驅動程序來構建真空工藝步驟,從遠程筆記本電腦控制MFC及其關閉電磁閥。在適當的時候,他們完善了這個過程,并開始建立涂層系統。現在,您可以為您的金屬零件訂購類似鉆石的涂層 - 或者為其他人提供服務系統 - 真空鍍膜比陽極氧化更耐用,同時比鍍鉻更快更硬。由于Alicat的插入式電磁流量計適應性,物理氣相沉積變得越來越好。